共计 1412 个字符，预计需要花费 4 分钟才能阅读完成。
在 FAB 中经常听到 Q -Time 的管控，那什么是 Q -Time? 为什么要进行 Q -Time 的管控呢？
什么是 QTime？
Q-Time：Queue Time，文献中 Q -Time is the waiting time between one step track out to next step track in, which have max time or min time。即队列等待时间，指的是从这个工艺的设备处理完成后，到下个工艺的设备开始的时间间隔，这个时间间隔是一个范围，必须位于最小值和最大值之间。
为什么要进行 Q -Time 的管控？
1. 提升质量：例如在炉管的加工步骤中，如果加工批次等的时间较长的话，可能会导致晶圆表面有 Particle 的积累、氧化层厚度不均匀等问题，从而影响产品的性能和可靠性，所以，减少关键工艺中的停留时间，就是降低晶圆污染等风险。
2. 提升设备利用率：设备相当贵的，折旧也很贵，设备等的时间长，意味着利用率低（OEE 低）。
3. 提高生产效率：这个设备等的时间长，就意味着后续的工艺等的时间也会增加，产线滞留，精准的 Q -Time 管控可以确保各个工艺之间更加协调，优化生产调度，提高生产效率。
Q-Time 管控的级别？
Q-Time 管控的级别两种，一中是以 Lot 级别的管控，一种是以 Wafer 级别的管控。Lot 级别：（Lot Process End->Lot Process Start）从 Lot 在这个设备的 Load Port 出来开始计算，到 Lot 到达下一个设备的 Load Port 为止。
Wafer 级别：（Wafer Process End->Wafer Process Start）从这片 Wafer 在这个设备处理完后回到 Carrier 开始计算，到这边 Wafer 在下一个设备开始抽片为止。从自动化的系统方面来说，管控方式是收集 MES 的实时数据，结合关键的生产因子（Q-Time，Lot 等级，设备状态，交货周期等），通过调度算法算出最优的 Lot 进行派货，这就是为什么各大 FAB 都在研发 RTD 系统和 Scheduling 系统的原因。当然除了系统级管控 QTime 外，还需要工艺参数的优化，设备的调优等。
Q-Time 管控需要要考虑的主要因素
1. 多个产品之间的协调：多个产品之间的工艺流程是不一样的，有的时候同一产品还有工程产品与量产产品之间的混搭，这时就需要系统能梳理各个产品之间生产工艺制造流程，通过最优算法在各工艺之间进行协调，从而减少 Q -Time。
2. 生产计划的临时变动：因客户和产品的需求不同，有时需要突然变更生产计划，这时就需要系统能快速根据新的生产计划调整派货的顺序，减少生产计划的变更带来的影响，减少 Q -Time 的影响。
3. 设备的故障与宕机：设备故障往往会导致生产中断，进而增加 Q -Time，这时就需要系统能快速根据设备的状态，并通过设备预警系统提前发现问题，调整生产派货的顺序，减少设备停机对生产的影响。
随着生产设备的不断进步和智能化生产的发展，Q-Time 的控制越来越依赖于自动化设备和技术。通过先进的控制系统和传感器技术，可以实时监测生产过程中的各项参数，包括温度、压力、流量等，从而精确控制 Q -Time，提高生产效率和产品质量。
总之，生产制造上的 Q -Time 是一个重要的时间参数，它确保了产品在生产过程中能够按照设定的工艺参数和流程进行精确控制和处理，从而满足产品质量和工艺稳定性的要求。它是智能制造中不可或缺的一部分，对于提高生产效率和产品质量具有重要意义。
