MOS管内部结构和工作原理

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MOS 管内部结构

MOS 管内部结构和工作原理
MOS 管内部结构和工作原理
  左图为 npn 型三极管,通过三极管结构对比看 MOS 管,下边进行分析 MOS 内部结构。
    1. 符号
         漏极 D 对应三极管集电极 C,源极 S 对应三极管发射极 E,栅极 G 对应三极管基极 B,同时 MOS 管还有个衬底 B
    2. 掺杂浓度(N 型掺杂)
         三极管是发射极 E 区最高,集电极 C 区是最低的
        MOS 管的漏极 D 和源极 S 掺杂浓度是一样的,而且很高,用 N + 表示
         高掺杂的原因:N 区高浓度掺杂是为了在建立导通沟道后,有更多的载流子流动,导电率更好。
    3. 二氧化硅氧化物(Oxide,绝缘层)
         三极管是没有的
         在 DS 左边加入一层二氧化硅绝缘层,一般几十 μm,绝缘性比较强,有 "耐压方面的要求"(下边给出解释)。
    4. 整体结构与分析
         栅极 G 也叫门极,在 SiO2 氧化物上引出了一个黑色金属氧化物,栅极在金属氧化物上引出
         从原理图符号(右上角) 看,MOS 管是个三端口器件,但 MOS 管内部结构式不一样的,DS 之间需要在 P 区引出一个电极,衬底 B。
         栅极 G 和衬底 B 之间因为中间氧化物绝缘层存在,相当于电容两个极板,构成了电容正负极板,如果此时加入电场作用,栅极 G 接电源正端,衬底 B 接电源负端,此时在电容极板上电场方向如下图(左 -> 右),在极板左端 (金属氧化物上) 聚集正电荷,右端 (p 区靠近绝缘层侧) 聚集负电荷(自由电子)。
         大量电子聚集在 P 区绝缘层一侧,会在 DS 之间建立起导电沟道,因为 N 区掺杂多子是自由电子。从沟道建立来看,是 N 型的,所以叫 NMOS, 而 NMOS 本身是截止的,需要外加电场作用形成 DS 导通沟道,这也是为什么叫增强型的原因。
        "导电沟道也叫反型层"。理想上,导电沟道是越宽越好,沟道越宽,导通电阻越小。而沟道的宽度又是与极板上聚集的电子数量有关,与 Cgb 电容两端电压相关,Cgb 两端电压越高,在极板两端聚集的正负电荷对就越多,那在负极板上形成的 N 区导电沟道就越宽。
          所以 "MOS 管的导通,在控制上只需在 GB 之间加入一个 Vgb 的控制电压",那这个导通电压具体多大合适,不能太小,如果太小导通沟道不够还是太窄,必须让它 "彻底导通",一般来说,"Vgb≥10V" 即可。
MOS 管内部结构和工作原理
  有个细节问题,如果 MOS 管彻底导通与 Vgb 电压有关,那 Vgb 电压是不是越大越好。
    1. 二氧化硅绝缘层虽然绝缘性很强,但它只有几十 μm 的厚度,所以耐压是有上限的,一般是±20V 或±25V,具体看手册。如果这样的话,为什么不从工艺上将绝缘层做厚一些,让耐压更高,建立的沟道更宽。
    2. 沟道的宽窄可以用一个指标来衡量,"Rds 导通电阻"。
        Rdson 为导通之后的电阻,Rdsoff 为关断电阻。
         实际上,经过验证当 Vgb≥10V 时,Rdson 导通电阻已经很小了,此时再增大 Vgb 电压,不考虑耐压,Rdson 导通电阻的下降已经很小,可以说忽略不计,所以工艺上绝缘层一般为几十 μm 是有这一层因素在。
     在实际电路设计中,一般使用的标称电压为 12V、15V 驱动 MOS 管,都是大于 10V 的。

  上述分析,MOS 管之所以称为场效应管,本质上是 GB 之间正负极板构成的电场效应。

Rdson导通电阻(拓展)

MOS 管内部结构和工作原理
MOS 管内部结构和工作原理
 Rds(on)电阻: 是指 "通道电阻以及从 D 端子到 S 端子的电阻(包含其它 N 层的电阻、电线、引线框架等的电阻)"
      仅做了解即可,不需深究。

MOS 管工作原理

MOS 管内部结构和工作原理
  上图所示,该模型在书本上看到较多。
    M: 金属氧化物(黑色金属部分),早期用铜、铝金属比较多,现在更多使用的是多晶硅,是一种半导体,严格意义上已经不算金属了,由于历史原因,一直沿着了 Metal 这个名字。
    O:Oxide,SiO2 绝缘层氧化物(青色部分)
    S:Semiconductor, 半导体(所有的半导体,P 区和 N 区)

"阴影部分" 为 P 区衬底和 N 区之间的耗尽层
    "耗尽层中绝大部分是负离子,只有少数正离子"。从图中也能看出来,N 区的掺杂用 N + 表示,所以 N 区掺杂是比 P 区要高的多的,耗尽层的形成是 P 区和 N 区的浓度差产生扩散运动的一种结果。很明显,N 区的浓度更高,所以有更多的多子自由电子跑向 P 区,最终与 P 区空穴结合产生负离子。相对的 P 区多子为空穴,但是 P 区掺杂浓度较低,只有少数空穴跑向 N 区与 N 区自由电子结合,所以 N 区的正离子是比较少的。所以最终的结果就是耗尽层中负离子是占了大部分,只有少数的正离子,最终形成的正离子层就比较薄了,图中也就没有表示出来。
     可以看到栅极 G 的金属氧化物是分别向左右两边延长了一点,目的是为了在耗尽层区域在电场作用下产生自由电子,最终建立 DS 导通沟道。

  现在再来看 p 型半导体为什么称为衬底或 Body,按照上图这个模型分析,P 区相对整体来说占了很大一部分,是一个主体,而 N 区相当于主体中的两个小块。在 P 区衬底中,多子是空穴,少子是自由电子,这部分少子承担着 MOS 管的导通作用。
MOS 管内部结构和工作原理
MOS 管内部结构和工作原理
  在 DS 之间加一个电压,需要保证这个电压不能超过 DS 之间的耐压,没有击穿风险,这时的 DS 之间是几乎没有电流 Id 的(极小的漏电流可以忽略)。
      只有 DS 电压,MOS 管是不会导通的,日常使用 MOS 管更多作开关使用,这个时候需要在 GB 之间加入一个正向压降,通过 GB 这个竖向电场,控制 DS 的横向电场导通。
      由于 MOS 管是 DS 和 GB 是从同一个电源系统来的,DS 是主功率回路,GB 是控制回路,电源相对较小,一般在 12V、15V 就可以。通过 GB 弱信号控制 DS 的大功率信号,在 MOS 管内部 "由于 DS 和 GB 是在同一个电源系统,GB 之间 B 端为负压,DS 之间 S 端也为负压,这两个电源不是隔离的,都在同一个电源系统,可以是不同的压降",所以在工艺制作上,内部就把漏极 S 和衬底 B 连接一起了。可以看图中 MOS 管符合,箭头处的横杆就相当于 B 极,和 S 极连一起表示了,最终用漏极 S 进行示意,这也是为什么符号中没有 B 极。
MOS 管内部结构和工作原理
  上图这个等效模型的接线方法就比较清晰了
      只需在 GS 之间加入一个控制信号,就能控制 DS 之间的导通截止了。
正文完
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Suleto
版权声明:本站原创文章,由 Suleto 于2025-04-26发表,共计2488字。
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评论(一条评论)
2025-04-26 01:52:04 回复

栅极的金属氧化物分别向左右两边延长了一点并不是为了产生自由电子,相反,这个地方反而要避免栅极和源漏区产生交叠,这个重叠的区域是由于源漏注入之后的退火导致的扩散

以下是网上的一些说法
1. 核心目的:补偿退火导致的横向扩散
源漏注入与退火工艺:
在MOSFET制造中,源漏区通过离子注入掺杂,随后进行高温退火以激活掺杂原子。但退火过程中,掺杂剂会从注入区域向四周 "横向扩散",导致实际掺杂区域比设计区域更宽。
栅极氧化层延长的作用:
若栅极氧化层未延长,退火扩散后的源漏区可能侵入沟道下方,与栅极边缘形成 "非预期的交叠"。这种交叠会引入寄生电容(Cov)和漏电流,损害器件性能。
"延长栅氧化层"相当于为扩散预留余量,确保即使掺杂剂横向扩散,栅极仍能保持与源漏区的隔离。
2. 避免交叠引发的负面效应
寄生电容:
栅极与源漏区交叠会显著增加覆盖电容(Cov),降低器件开关速度和高频性能。 漏电风险:
交叠区域可能形成寄生导电通道(如反型层),导致关态漏电流(Ioff)升高,功耗增加。
短沟道效应恶化:
交叠会削弱栅极对沟道的控制能力,加剧漏致势垒降低(DIBL)等短沟道效应。
3. 与自由电子的关系
自由电子的产生机制:
在MOSFET中,自由电子(或空穴)是由栅极电压诱导形成的。这一过程与栅氧化层的延长设计无关。
氧化层延长的绝缘属性:
栅氧化层本质是绝缘体,其延长部分的作用是"物理隔离",而非促进载流子生成。若氧化层破损导致栅极与源漏区直接接触,反而会引发短路失效

当然,这些是MOS管内部的一些核心工艺,实际电路设计不会有影响,所以以上观点作为额外了解扩展即可。

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